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                    SiC的不同晶體結構

                    文章出處:芯TIP網責任編輯:作者:Michael人氣:-發表時間:2022-04-16 13:30:00【

                    由于Si與C雙原子層堆積序列的差異會導致不同的晶體結構,SiC有著超過200種(目前已知)同質多型族。

                    其中最被人熟知的便是立方密排的3C-SiC和六方密排的2H-SiC、4H-SiC、6H-SiC(碳化硅具有優良的物理和化學性能)。

                    最常用的多型是:

                    4H-SiC——功率集成電路應用

                    6H-SiC——射頻應用

                    在不同的晶面上生長不同的晶錠多型體:

                    4H-SiC——在碳(C)面晶種上生長

                    6H-SiC——在硅(Si)面晶種上生長

                    與硅相比,SiC的多型性使SiC的外延生長和襯底制備更加復雜。

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